深圳沃飛科技有限公司成立於2011年，公司注冊資金2180萬，是一家專業從事氣體應用係統工程：電子特氣管道係統、實驗室管道供氣係統、工業集中供氣係統、Local Scrubber尾氣處理係統、大宗氣體（液體）係統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管係統、化學品輸送係統、純水係統，提供從技術谘詢、整體規劃、係統設計、選定設備、預製組件、項目現場安裝建設、整體係統檢測等全套工程技術服務和配套產品銷售於一體的高新技術企業；擁有GC2壓力管道安裝資質、機電安裝工程承包資質。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業；為客戶提供高純工藝係統整體解決方案。

特氣管道係統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險性，應確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱，特氣係統工程是用於實現特氣係統安全使用的工程。公司提供從供氣係統;排氣處理、監視係統的綜合管理係統;建立以安全為第一的特氣管理輸送係統。提供設計、選型、製造、安裝、測試、調試和係統托管服務等整體解決方案。

特氣管道係統由儲存、輸送、分配、控製四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣櫃GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配櫃VMB)，“控製”指監督控製部分(氣體管理係統GMS)。

特氣管道係統特點
特氣係統中的每台設備均配有PLC控製、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警，並可擴展地震監控報警;單台設備可以獨成係統獨立運轉，也可多台設備用PLC或TGO連起來組成大係統，在監控中心統一監控管理，其報警係統還可以與安監係統、消防係統對接。　　

電子特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶矽薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料製造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔淨度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，並從根本上製約著電路和器件的精確性和準確性。
適合場合
芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物製藥、新材料等行業，常配套用於濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備