▶金屬對金屬密封，在真空到高壓範圍內提供無泄漏服務 ▶內部容積小，可完全吹掃流道 ▶全包裹閥座設計，具有優越的抗膨脹和防汙染能力 ▶鎳鈷合金膜片，具有更高的耐久性和抗腐蝕性 ▶標準的粗糙為Ra0.25μm（BA級），或者電解拋光Ra0.13μm（EP級）可選 ▶氦氣測試泄漏率＜1×10-9 std cm3/s ▶氣動執行器可供選擇 ▶氣動閥壽命可達300萬次