特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送係統采用氣瓶櫃。配置全自動PLC控製器，彩色觸摸屏；氣體麵板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控製，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風係統根據氣體性質進行分類。

管道係統的設計

1.材料的選擇

特氣管路係統普遍采用316L不鏽鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表麵粗糙度可控製在5uin。對於某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。

2.主管路係統的設計

在確定好氣體房和用氣點以後,主管路係統一般遵循管道線路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送係統的數量和管徑的大小一般根據機台用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設計了備用係統。由於氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架裏，對於穿牆或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經常有危險作業的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架裏。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時製定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最後整個係統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預製間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預製圖紙的編寫﹣→管道的預製﹣→管道的現場安裝﹣→係統檢測﹣→係統驗收

關於途中氣體係統的設計與施工就介紹到這裏了，大家對特種氣體係統了解是否又多了一點呢，想要了解更多可以關注沃飛科技，後期也會不斷更新內容！