VMP：閥組盤
特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用於向一個或多個工藝設備提供特種氣體，同時供應數台機台，根據氣體種類進行分類，將工藝氣體純化、過濾、減壓，達到客戶需求