特氣櫃主要用於易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣櫃有一個外殼上有抽風管，當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶氣瓶櫃內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

特氣櫃主要用要供應特種氣體，如易燃，易爆，劇毒等，主要用於半導體和LED的新興行業。