近年來，隨著半導體行業的蓬勃發展，對其配套項目也提出了更高要求。特種氣體供應沒有形成有效的係統，鋼瓶淩亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題比較嚴重，極大的影響到用氣安全。那麽特氣管道工程中氣體尾氣如何處理呢?跟小編一起來看。

　　特種氣體尾氣處理方式：

　　特種氣體對身體健康以及環境都會產生很大的危害，如何處理特氣尾氣，用什麽設備處理，這裏將會進行深入介紹。

　　特種氣體尾氣現狀：

　　尾氣作為特氣係統的衍生物不可避免的存在。過去，在很多高校，由於實驗室用氣量不大，建設單位的業主沒有充分意識到尾氣的排放問題，隨著更多半導體工廠雨後春筍的湧現，生產用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那麽怎麽排放，如何排放成為擺在很多用戶麵前的問題。

　　特氣係統尾氣排放處理裝置的處理方式：

　　尾氣處理裝置的類型，應根據所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇，不相容特種氣體應分別設置尾氣處理裝置;

　　尾氣處理裝置應靠近GR、GC等特種氣體設備布置;

　　特種氣體尾氣處理方法宜采用幹式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。

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