在半導體、集成電路、太陽能光伏、液晶、微電子等行業領域中，特種氣體輸送係統是電子工廠中危險性重大的設施或場所。特種氣體是有著易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性質的氣體，一旦特種氣體係統發生泄漏都可能造成人員、廠房、設備的嚴重損失。

如特種氣體中的矽烷(SiH4)為自燃性，一旦泄漏就會與空氣中的氧氣發生劇烈反應，開始燃燒。砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能導致人員的生命危險。因此，對係統設計的安全性要求十分嚴格，其中關於氣體檢測報警係統的設置是十分有必要的，避免氣體泄露等危險發生。

特種氣體檢測裝置種類：

(1) 自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置、半導體檢測裝置、電化學檢測裝置。

(2) 毒性氣體檢測采用電化學檢測裝置。

(3) 根據使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置。

特種氣體檢測裝置的安裝位置規定：

1. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶櫃和閥門箱的排風管口處；

2. 生產工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設備的排風管口處；

3. 生產工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處；

4. 惰性氣體間可能產生窒息的區域；

5. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間；

6. 其他可能發生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環境。

7. 當特種氣體相對密度小於或等於0.75時，特種氣體探測器應同時設置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當特種氣體相對密度大於0.75 時，特氣體探測器應設置在釋放源下方離地麵0.3m~0. 5m處。

以上，便是關於特種氣體輸送係統中氣體檢測報警裝置的安裝位置的簡單介紹，希望能您帶來幫助，感謝您的閱讀，更多氣體資訊敬請關注我們！